8/12英寸全自動(dòng)Overlay量測(cè)設(shè)備
該設(shè)備用于12 inch 鍵合晶圓，包括上料單元/傳輸單元/晶圓對(duì)準(zhǔn)單元和量測(cè)單元， 廣泛應(yīng)用于熔融/混合鍵合晶圓鍵合的結(jié)果量測(cè)。
設(shè)備優(yōu)勢(shì)
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01軟件全自動(dòng)作業(yè)控制
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02內(nèi)環(huán)境達(dá)Class1等級(jí)
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03全自動(dòng)設(shè)備，Loadport自動(dòng)上下料，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)系統(tǒng)對(duì)接
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04光學(xué)鏡頭：5x/10x/20x可選
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05高速移動(dòng)&對(duì)焦方案，提高量測(cè)效率
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設(shè)備展示
基本信息
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1. 適用產(chǎn)品：D2W/W2W鍵合精度量測(cè)
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