6/8英寸半自動晶圓清洗設(shè)備
該設(shè)備配有多路化學(xué)液及水氣二流體、穩(wěn)定高精的對中單元和功能強大的化學(xué)柜，廣泛適用于大部分鍵合前或解鍵合后的晶圓清洗。
設(shè)備優(yōu)勢
-
01支持液路回吸功能，可防止工藝過程中滴液，確保工藝質(zhì)量
-
02支持Degas除泡功能，可有效去除化學(xué)液中的氣泡，提升清洗質(zhì)量
-
032路化學(xué)液和1路水氣二流體，對塵埃微粒、有機(jī)物等污染物有極高的去除能力
-
04可選配兆聲清洗方案，進(jìn)一步提升清洗效果
-
05擁有高精度、操作便捷的對中系統(tǒng)
-
06自動補液泵，既簡化了手動換液流程，又避免了人為搬運風(fēng)險
設(shè)備展示
基本信息
-
1. 適用產(chǎn)品：4/6/8 inch 晶圓清洗
-
2.
-
3.
-
4.
-
5.
-
6.
-
7.
-
8.
-
9.
-
10.
-
11.
-
12.
-
13.
-
14.
-
15.
-
16.
-
17.
-
18.
-
19.
-
20.
-
21.
-
22.
-
23.
-
24.
-
25.
-
26.
-
27.
-
28.
-
29.
-
30.